本文关键字:
倒装芯片封装是把裸芯片正面朝下安装在基片上的技术。传统的金线压焊技术只使用芯片四周的区域。倒装芯片焊料凸点技术是使用整个芯片的表面,因此,倒装芯片技术的封装密度(I/O 密度)更高。用这项技术,还可以把器件的尺寸做得更小,封装的高度做得更低。最终,电气性能会因缩短连接距离而做得更好。这可以降低寄生电感、减少噪声。
倒装芯片封装是把集成电路连接到下一层内部连接的工艺。这种工艺在不同的具体应用环境下,作用与效果不同,其中有四种经过简化的倒装芯片工艺,把焊料凸点工艺[1]结合进去。倒装芯片封装(FCIP):把裸芯片安装在bga 等封装之内的工艺。在板上倒装芯片(FCOB):把裸芯片直接安装在电路板上的工艺。晶片级芯片尺寸封装(WLCSP):这个工艺需要在晶片上增加一个走线层,并且把焊锡凸点直接放在有走线层的晶片上。
芯片尺寸封装(CSP):把裸芯片安装到接入层上的工艺。然后,再把这个接入层连接到下一层基片上??悸堑剿荂SP,因此封装尺寸不会超过芯片尺寸的1.2 倍[2]。
由于切割之前在晶片上形成连接端,因此晶片凸点技术比其他芯片封装办法更经济。这个办法的一个优点是,它能够促进超微间距凸点技术的研制。凸点技术
目前有许多不同的焊料凸点制作方法可供选择,它们各有各的优点,然而,有一些办法在实现超微间距凸点时,又要保持较高的成品率,就有一定的限制。在所有的凸点中,在进行焊点连接之前,在元件上镀上一层金属化层,它在凸点的下面,称作凸点下的金属化层(UBM)。UBM 是连接到集成电路上的铝焊盘的金属层。在再流焊过程中,焊料经过湿润连接到焊盘上。目前,有许多UBM 合成物可供使用。在正常情况下,要根据所选用的焊料合金、可靠性以及价格来选择UBM 材料。常用的一些凸点技术如下:
电镀:一般是在电镀槽里,把基片当作阴极,利用静态电流或者脉冲电流来完成焊料的电镀。在镀上所需厚度的焊料后,就可以把光致抗蚀剂清除掉,这时焊料凸点制作完成。电镀的优势是可以在非常小的间距内印刷,而且可以保证足够的焊料以得到更高的高度。电镀的不足之处在于它的启动成本较高,生产设备的占用面积较大,电解液会造成更多的浪费,选择合金的灵活性少。
蒸发:这是形成凸点的成熟方法,用于把半导体芯片与陶瓷基片连接起来。蒸发工艺需要两个掩模,第一个掩模的开口较小,适合UBM,而第二个掩模的开口较大,适合焊料印刷。这个工艺的不足之处是它要使用两个掩模,又需要蒸发工艺,这会增加成本。
模板印刷和丝网印刷
模板的作用是把焊料、导电胶或者其他类似的材料通过孔转移到基片上(图1)。模板印刷是成本最
低的工艺,适合倒装芯片封装连接点的印刷;多年来它广泛用于SMT 行业的电路板组装。模板的制作主要有三个方法:化学蚀刻、激光切割和电铸成型。
化学蚀刻模板是用金属箔片(一般为黄铜)制造的,金属箔片的表面涂有干膜光致抗蚀剂,然后曝光、显影,形成开孔的图形。用化学蚀刻法时,把开孔部分的金属腐蚀掉。在蚀刻阶段,蚀刻是各向同性的,会把底部腐蚀得多一些,无法制造开孔间距离很小的模板,不能满足倒装芯片封装微间距的需要?;纯棠0宀皇屎衔⒓渚嘤∷?。在制造激光模板时,我们先把金属箔片固定在框架中。然后按预定的方式移动很强的激光把孔中的材料去掉。制造激光切割模板的最常见材料是不锈钢;不过也使用镍,这是因为用镍制造的激光模板释放焊膏的性能较好。聚合物箔片也可以用来制造激光模板。这种材料的切割比金属的切割更干净,可以得到更光滑的孔壁,因而焊膏释放的效果更好。最近研制了更精密的激光切割工艺,它们能够改进模板孔壁的质量,包括更小激光点和水流?;す馇懈罴际?。其中的一个优点是在切割之前先由框架进行预拉伸。这样可以减少模板的变形。激光切割是连续的工艺。随着器件的输入/输出脚数量的增多,制作模板的时间会增长。对于开孔数量很大的晶片凸点模板,是很不利的,这是因为,随着开孔数量的增加,制作时间会增长,时间会增长到在经济上不划算的地步。在切割过程中,加热和熔化的交互作用会产生粗糙的孔壁,孔的表面面积增大,从而降低焊膏释放的能力。必须控制在切割过程中产生的的热量,这样,它就不会变形,不会损坏开孔之间的细小空间──对于微间距印刷,要求开孔之间的距离很小。电抛光模板一般都属于激光切割模板,用电化或者机械抛光的方法来处理表面,使之变得平滑?;箍梢杂谜庵职旆ù砥渌嘈偷慕鹗裟0?。传统的电铸成型模板生产工艺中要用到导电芯板,例如,不锈钢芯板,并且把一层光致抗蚀剂薄膜覆在导电芯板的表面,在它上面通过曝光、显影形成图案。在光刻后,开孔部位的材料留在芯板上。然后把它放到电镀液中,在芯板上加上电流。一般是用镍或者镍合金来制造电铸模板。与前面所提到的其他减成技术相比,电镀是一种加成工艺,镀上去的金属是精确地按光阻材料图形进行的。在电镀到预定厚度之后,把留在孔内的光阻材料清除掉,形成最终的模板。
对倒装芯片模板的要求
电铸成型模板比较适合倒装芯片封装,不过,对于用来印刷间距小于150μm 的金属箔片,传统的模板制造技术并不适合。运用微工程技术来生产更理想的电铸模板,可以做到这一点[3]。为了能够在微间距下印刷,这项技术必须与最新含有微粒粉末的焊膏材料(符合IPC 标准的6-8 型焊膏)结合起来。这些模板上孔的公差达到微米数量级,孔壁平滑,适合焊膏释放,而且箔片的厚度均匀(图2a 和图2b),改进了孔的质量。在进行微间距印刷时,需要使用公差只有微米数量级的孔来保证焊膏印刷量一致。随着孔的直径越来越小,必须减小模板的厚度,这有利于焊膏的转移。根据经验,模板的厚度应为最小的孔径的三分之二。对微间距印刷来说,模板厚度不能超过75μm。75μm 厚的模板要用框架来拉平。因此,必须使用校正过的参数来生产电铸模板,保证在印刷过程中基片与模板之间准确地重合。如果达不到这个要求,就会出现错误的印刷。
用于倒装芯片封装的焊膏
在进行微间距印刷时,需要把焊料合金微粒尺寸分布(PSD)从20-45 μm(三类PSD)降低到15 μm(六类和七类PSD)。为了达到这个要求,PSD 的变化必定会影响焊膏的特性。举个例子,从三类PSD改变为六类PSD,单位微体积的微粒数量增加了14 倍。焊膏中这些更小的微?;岣谋浜父嗟牧鞅湫裕ㄍ?a、b)。流变性会影响剪切力、张力和速度。由于流变性会影响焊膏的滚动和孔的填充与释放,因此适当的流变性是决定印刷工艺的关键。助焊剂的成份和合金量决定了焊膏的流变性。除了WEEE 之外,RoHS 法例要求停止在电子产品中使用铅。因此,要用无铅合金取代锡铅焊料。就模板印刷而言,首选的无铅合金为锡银铜(SAC)合金,它的熔点较高,这就需要改用新的助焊剂,以适应更高的再流温度和更小微粒尺寸的要求。
印刷
在微间距模板设计方面,由于圆形孔的焊膏释放能力比方形孔更强,因此,建议把孔的弯角做成圆的。为了满足微间距印刷的要求,需要优化与控制印刷压力、印刷和脱网速度。但是,其他参数,例如,适合晶片级凸点印刷的基片固定、刮刀、环境控制、焊膏使用寿命和基片分离速度也是提高成品率的关键。由于间距都在200μm 以下,因此,模板装在机器进行清洗就不再适用了。因此,必须把模板从印刷机中拿下来进行超声波清洗或者压力喷射清洗。
结论
如果对技术与市场发展的预测是正确的,随着WLP 成为大批量低成本的封装技术,更需要倒装芯片封装技术。越来越多的产品需要尺寸更小、速度更快、价格更便宜的元件,这迫使世界领先的封装制造商不断寻找适合这种要求的解决办法。尽管模板印刷技术已经使用了许多年,仍然需要进一步加深理解倒装芯片封装,继续用它实现成本最低的凸点工艺。